Effect of H on photoconductivity degradation of a-SiNx:H

被引：0

作者：

Zhang, Shiguo ^{[1
]}

Brodie, D.E. ^{[1
]}

机构：

[1] Zhejiang Univ, Hangzhou, China

来源：

Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Vacuum Science and Technology | 1997年 / 17卷 / 01期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

(Edited Abstract)

引用

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