Photo-deposition of hydrogenated amorphous silicon on downstream substrates using an upstream windowless hydrogen lamp

被引：0

作者：

机构：

[1] Shaw, Denis M.

[2] Sheng, Terry

[3] Yu, Zengqi

[4] Collins, George J.

[5] Adachi, Nobuo

来源：

Shaw, Denis M. | 1600年 / 31期

关键词：

Semiconducting silicon;

D O I：

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