Influence of different coil geometries on the spatial distribution of the plasma density in planar inductively coupled plasmas

被引：0

作者：

Schwabedissen, A. ^{[1
]}

Benck, E.C. ^{[1
]}

Roberts, J.R. ^{[1
]}

机构：

[1] Natl Inst of Standards and, Technology, Gaithersburg, United States

来源：

Physical Review E - Statistical Physics, Plasmas, Fluids, and Related Interdisciplinary Topics | 1997年 / 56卷 / 5 -B pt B期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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