Design and fabrication of microsensors using standard CMOS IC process

被引：0

作者：

Dai, Ching-Liang ^{[1
]}

Chang, Pei-Zen ^{[1
]}

Wang, Jiann-Jenn ^{[1
]}

机构：

[1] Natl Taiwan Univ, Taipei, Taiwan

来源：

Journal of the Chinese Society of Mechanical Engineers, Transactions of the Chinese Institute of Engineers, Series C/Chung-Kuo Chi Hsueh Kung Ch'eng Hsuebo Pao | 1997年 / 18卷 / 03期

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

引用

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