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Beam drift in submicron focused ion beam system
被引：0
作者：
Tsinghua Univ, Beijing, China
[1
]
机构：
来源：
Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Vacuum Science and Technology
|
1997年
/
17卷
/
03期
关键词：
D O I：
暂无
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页码：167 / 174
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