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Effects of gas additives on the properties of a-Si:H films
被引：0
作者：
机构：
[1] Wang, C.
[2] Parsons, G.N.
[3] Lucovsky, G.
来源：
Wang, C.
|
1600年
/
114期
关键词：
Gas Additives - Hydrogenated Amorphous Silicon Films - Polyhydride Bonding - Reactive Magnetron Sputtering;
D O I：
暂无
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