Alternative chemistries for chamber cleans to reduce perfluorocompound (PFC) emissions

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作者：

Department of Chemical Engineering, University of Texas, Austin, TX, United States ^{[1
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机构：

来源：

SSA Journal: Journal of the Semiconductor Safety Association | 2000年 / 14卷 / 01期

关键词：

D O I：

暂无

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引用

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