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PROCESSES OCCURRING IN AN EROSION PLASMA DURING LASER VACUUM DEPOSITION OF FILMS - 2. INTERACTION OF LASER EROSION PRODUCTS WITH THE SOLID SURFACE.
被引:0
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作者
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Akhsakhalyan, A.D.
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Akhsakhalyan, A.D.
Bityurin, Yu.A.
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Bityurin, Yu.A.
Gaponov, S.V.
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Gaponov, S.V.
Gudkov, A.A.
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Gudkov, A.A.
Luchin, V.I.
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Luchin, V.I.
机构
:
来源
:
Soviet physics. Technical physics
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1982年
/ 27卷
/ 08期
关键词
:
Compendex;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
PLASMAS
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