PROCESSES OCCURRING IN AN EROSION PLASMA DURING LASER VACUUM DEPOSITION OF FILMS - 2. INTERACTION OF LASER EROSION PRODUCTS WITH THE SOLID SURFACE.

被引:0
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作者
Akhsakhalyan, A.D.
Bityurin, Yu.A.
Gaponov, S.V.
Gudkov, A.A.
Luchin, V.I.
机构
来源
Soviet physics. Technical physics | 1982年 / 27卷 / 08期
关键词
Compendex;
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
PLASMAS
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