BORON DOPING TO MICROCRYSTALLINE SiNx:H FILMS.

被引:0
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作者
Hasegawa, Seiichi [1 ]
Segawa, Mizuki [1 ]
Kurata, Yoshihiro [1 ]
机构
[1] Kanazawa Univ, Kanazawa, Jpn, Kanazawa Univ, Kanazawa, Jpn
来源
| 1600年 / 25期
关键词
Compilation and indexing terms; Copyright 2025 Elsevier Inc;
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
SEMICONDUCTING SILICON
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