Carbonization on (100) silicon for heteroepitaxial growth of 3C-SiC

被引：0

作者：

Shimizu, Hideki ^{[1
]}

Ohba, Takaomi ^{[1
]}

机构：

[1] Department of Technology, Aichi University of Education, Hirosawa, Igaya-cho, Kariya, Aichi 448-8542, Japan

来源：

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D O I：

暂无

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摘要：

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