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Analysis of the sputtering products from plasma source used for testing materials
被引：0
作者：
Moskovskij Gosudarstvennyj Univ im., M.V. Lomonosova, Moscow, Russia
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]
机构：
来源：
Fiz Khim Obr Mater
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2卷
/
9-13期
关键词：
D O I：
暂无
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学科分类号：
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