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Comparison of the pyrolysis products of dichlorodimethylsilane in the chemical vapor deposition of silicon carbide on silica in hydrogen or argon
被引：0
作者：
机构：
来源：
|
1600年
/
American Ceramic Soc, Westerville, OH, USA卷
/
77期
关键词：
Silicon carbide;
D O I：
暂无
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学科分类号：
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