Low-temperature crystallization of sol-gel-derived Pb(Zr,Ti)O3 thin films

被引:0
作者
Fujimori, Yoshikazu [1 ]
Nakamura, Takashi [1 ]
Takasu, Hidemi [1 ]
机构
[1] Device Technology Div., Semiconductor R and D Headquarters, ROHM Co., Ltd., 21, Saiin Mizosaki-chom, Ukyo-ku, Kyoto 615-8585, Japan
来源
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers | 1999年 / 38卷 / 9 B期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:5346 / 5349
相关论文
empty
未找到相关数据