Formation of cubic boron nitride by the reactive sputter deposition of boron

被引：0

作者：

Jankowski, Alan F. ^{[1
]}

Hayes, Jeffrey P. ^{[1
]}

Makowiecki, Daniel M. ^{[1
]}

McKernan, Mark A. ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of California, Livermore, United States

来源：

Thin Solid Films | 1997年 / 308-309卷

关键词：

Number:; -; Acronym:; LLNL; Sponsor: Lawrence Livermore National Laboratory;

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

引用

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