Impact of gate microstructure on complementary metal-oxide-semiconductor transistor performance

被引:0
作者
Yu, Bin [1 ]
Ju, Dong-Hyuk [1 ]
Kepler, Nick [1 ]
King, Tsu-Jae [1 ]
Hu, Chenming [1 ]
机构
[1] Univ of California, Berkeley, United States
来源
Japanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters | 1997年 / 36卷 / 9 A-B期
关键词
D O I
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