Characterization of annealed high-resistivity InP grown by He-plasma-assisted epitaxy

被引:0
作者
Pinkney, H. [1 ]
Thompson, D.A. [1 ]
Robinson, B.J. [1 ]
Mascher, P. [1 ]
Simpson, P.J. [1 ]
Myler, U. [1 ]
Kang, J.U. [1 ]
Frankel, M.Y. [1 ]
机构
[1] McMaster Univ, Hamilton, Canada
来源
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films | 1998年 / 16卷 / 02期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:772 / 775
相关论文
empty
未找到相关数据