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In situ ellipsometry to monitor swelling and dissolution of thin polymer films
被引：0
作者：
机构：
[1] Papanu, J.S.
[2] Hess, D.W.
[3] Bell, A.T.
[4] Soane, D.S.
来源：
Papanu, J.S.
|
1600年
/
136期
关键词：
Photoresists;
D O I：
暂无
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