Growth and characterisation of boron nitride thin films

被引:0
作者
Plass, M.F. [1 ]
Fukarek, W. [1 ]
Kolitsch, A. [1 ]
Kreissig, U. [1 ]
机构
[1] Forschungszentrum Rossendorf, Dresden, Germany
来源
Surface and Coatings Technology | 1996年 / 84卷 / 1 -3 pt 2期
关键词
The authors acknowledge S. Mandl for discussions. This work is supported by the SMWK (No. 4-7514.83-FZR/405);
D O I
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