Kinetics of nickel-induced lateral crystallization of amorphous silicon thin-film transistors by rapid thermal and furnace anneals

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作者
Dept. of Mat. Sci. and Engineering, Bard Hall, Cornell University, Ithaca, NY 14853, United States [1 ]
机构
来源
Appl Phys Lett | / 13卷 / 1866-1868期
关键词
D O I
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