Nuclear reaction analysis and elastic recoil detection analysis of the retention of deuterium and hydrogen implanted into Si and GaAs crystals

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作者
Umezawa, K. [1 ]
Yamane, J. [1 ]
Kuroi, T. [1 ]
Shoji, F. [1 ]
Oura, K. [1 ]
Hanawa, T. [1 ]
机构
[1] Osaka Univ, Japan
来源
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms | 1600年 / B33卷 / 1-4期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
Hydrogen
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页码:638 / 640
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