Nuclear reaction analysis and elastic recoil detection analysis of the retention of deuterium and hydrogen implanted into Si and GaAs crystals

被引：0

作者：

Umezawa, K. ^{[1
]}

Yamane, J. ^{[1
]}

Kuroi, T. ^{[1
]}

Shoji, F. ^{[1
]}

Oura, K. ^{[1
]}

Hanawa, T. ^{[1
]}

机构：

[1] Osaka Univ, Japan

来源：

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms | 1600年 / B33卷 / 1-4期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Hydrogen

引用

页码：638 / 640