PROPERTIES OF HYDROGENATED AMORPHOUS Si-N PREPARED BY VARIOUS METHODS.

被引：0

作者：

Morimoto, Akiharu ^{[1
]}

Tsujimura, Yoshinori ^{[1
]}

Kumeda, Minoru ^{[1
]}

Shimizu, Tatsuo ^{[1
]}

机构：

[1] Kanazawa Univ, Dep of Electronics,, Kanazawa, Jpn, Kanazawa Univ, Dep of Electronics, Kanazawa, Jpn

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes | 1985年 / 24卷 / 11期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

SILICON NITRIDE

引用

页码：1394 / 1398