Positive ion flux from a low-pressure electronegative discharge

被引:1
作者
Sheridan, T.E. [1 ]
Chabert, P. [1 ,2 ]
Boswell, R.W. [1 ]
机构
[1] Space Plasma and Plasma Proc. Group, Plasma Research Laboratory, Australian National University, Canberra, ACT 0200, Australia
[2] Laboratoire PRIAM, UMR 9927 CNRS-ONERA, F-91761 Palaiseau Cedex, France
来源
Plasma Sources Science and Technology | 1999年 / 8卷 / 03期
关键词
D O I
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页码:457 / 462
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