Surface processing with ionized cluster beams: computer simulation

被引：0

作者：

Insepov, Z. ^{[1
]}

Yamada, I. ^{[1
]}

机构：

[1] Ion Beam Eng. Exp. Laboratory, Kyoto Univ., Yoshida-Honmachi, K., Sakyo-ko, Japan

来源：

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms | 1999年 / 153卷 / 1-4期

关键词：

Computer simulation - Hardness - Ion implantation - Molecular dynamics - Monte Carlo methods - Morphology - Rapid thermal annealing - Solids - Surface treatment;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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