Modelling the dielectric function of thin films measured by spectroscopic ellipsometry: determination of microstructure and density

被引：0

作者：

Haage, T. ^{[1
]}

Schmidt, U.I. ^{[1
]}

Schroder, B. ^{[1
]}

Oechsner, H. ^{[1
]}

机构：

[1] Univ. Kaiserslautern, Fachbereich, Physik und Forschungsschwerpunkt, Materialwiss., Kaiserslautern, Germany

来源：

Fresenius' journal of analytical chemistry | 1995年 / 353卷 / 5-8期

关键词：

11;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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