MOS gate doping effects on leakage currents in gate oxides

被引:0
作者
Khan, M.Kamal [1 ]
Zdancewicz, F. [1 ]
Bhalla, A. [1 ]
机构
[1] Harris Semiconductor, Mountaintop, United States
来源
Semiconductor International | 1997年 / 20卷 / 05期
关键词
D O I
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