DEGRADATION OF POLY(METHYL METHACRYLATE) IN CF4 AND CF4/O2 PLASMAS.

被引：0

作者：

Wu, B.J. ^{[1
]}

Hess, D.W. ^{[1
]}

Soong, D.S. ^{[1
]}

Bell, A.T. ^{[1
]}

机构：

[1] Department of Chemical Engineering, University of California, Berkeley, CA 94720, United States

来源：

| 1725年 / 54期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用