Piezoresistive Pressure Sensors for Automation.

被引：0

作者：

Loeffler, F.

Werthschuetzky, R.

机构：

来源：

MSR, Messen, Steuern, Regeln | 1987年 / 30卷 / 05期

关键词：

INDUSTRIAL PLANTS - Automation - SEMICONDUCTOR MATERIALS - Applications;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

The quality of modern automation solution depends essentially upon the accuracy and reliability of the sensors. New precision pressure sensors based on semiconductors have been developed by VEB Gerate- und Regier-Werke Teltow.

引用

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