Investigations of microroughness of superpolished surfaces by the X-ray scattering technique

被引：0

作者：

Russian Acad of Sciences, Moscow, Russia ^{[1
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机构：

来源：

Surf Invest X Ray Synchrotron Neutron Techniq | / 7卷 / 887-900期

关键词：

Polishing - X ray scattering;

D O I：

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