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Interfacial properties of ZrO2 on silicon
被引：0
作者：
机构：
[1] Lin, Y.-S.
[2] Puthenkovilakam, R.
[3] Chang, J.P.
[4] Bouldin, C.
[5] Levin, I.
[6] Nguyen, N.V.
[7] Ehrstein, J.
[8] Sun, Y.
[9] Pianetta, P.
[10] Conard, T.
[11] Vandervorst, W.
[12] Ventura, V.
[13] Selbrede, S.
来源：
Lin, Y.-S.
|
1600年
/
American Institute of Physics Inc.卷
/
93期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
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