HIGHLY PHOTOREACTIVE POLYIMIDE PRECURSOR FOR MICROELECTRONIC DEVICES.

被引：0

作者：

Kataoka, F. ^{[1
]}

Shoji, F. ^{[1
]}

Makino, D. ^{[1
]}

机构：

[1] Hitachi Ltd, Yokohama, Jpn, Hitachi Ltd, Yokohama, Jpn

来源：

New Materials & New Processes | 1985年 / 3卷

关键词：

MICROELECTRONIC DEVICES - PHOTOPOLYMERS - PHOTOREACTIVE POLYIMIDE PRECURSOR - POLYIMIDE INSULATING LAYERS;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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