Nitride-molecule synthesis in plasma produced by reactive laser ablation assisted by RF discharge for thin-film deposition

被引:0
作者
Vivien, C. [1 ]
Dinescu, M. [1 ]
Meheust, P. [1 ]
Boulmer-Leborgne, C. [1 ]
Caricato, A.P. [1 ]
Perriere, J. [1 ]
机构
[1] Universite d'Orleans, Orleans, France
来源
Applied Surface Science | 1998年 / 127-129卷
关键词
Number:; OUTR.CRG; 951248; Acronym:; NATO; Sponsor: North Atlantic Treaty Organization;
D O I
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页码:668 / 673
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