Aspekte zum Dimensionellen Messen von mikromechanischen Bauteilen

被引：0

作者：

Bader, Ferdinand ^{[1
]}

Roth, R. ^{[1
]}

Seitz, K. ^{[1
]}

机构：

[1] Carl Zeiss, IP-PM, Postfach 1368, 73446 Oberkochen, Germany

来源：

VDI Berichte | 2003年 / 1669期

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

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