Etching a single micrometer-size particle in a plasma

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作者
Stoffels, W.W.
Stoffels, E.
Swinkels, G.H.P.M.
Boufnichel, M.
Kroesen, G.M.W.
机构
来源
Physical Review E. Statistical Physics, Plasmas, Fluids, and Related Interdisciplinary Topics | 1999年 / 59卷 / 2-B期
关键词
D O I
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