BORON DOPING EFECTS IN LATERAL SOLID PHASE EPITAXY OF AMORPHOUS Si FILMS.

被引：0

作者：

Ishiwara, Hiroshi ^{[1
]}

Tamba, Akihiro ^{[1
]}

Yamamoto, Hiroshi ^{[1
]}

Furukawa, Seijiro ^{[1
]}

机构：

[1] Tokyo Inst of Technology, Graduate, Sch of Science & Engineering,, Yokohama, Jpn, Tokyo Inst of Technology, Graduate Sch of Science & Engineering, Yokohama, Jpn

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters | 1985年 / 24卷 / 07期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：513 / 515