Cleaning of metal surfaces by a broad beam ion source

被引：0

作者：

Sikola, Tomas ^{[1
]}

Dittrichova, Libuse ^{[1
]}

Spousta, Jiri ^{[1
]}

Zlamal, Jakub ^{[1
]}

Stefka, Jan ^{[1
]}

机构：

[1] Technical Univ of Brno, Brno, Czech Republic

来源：

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms | 1997年 / 127-128卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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