Hybrid inspection system for LCD color filter panels

被引：0

作者：

Nakashima, K. ^{[1
]}

机构：

[1] Lasertec Corp, Yokohama, Japan

来源：

Conference Record - IEEE Instrumentation and Measurement Technology Conference | 1994年 / 2卷

关键词：

Color cells - Color filter panel - Fourier filtering detection method - Hybrid inspection system - Macro defect - Micro defect;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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