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Selected Possibilities of Electron Microscopy for the Characterization of Microelectronic Structures.
被引：0
作者：
Gruenewald, Wolfgang
Hann, Heidrun
Hoeppner, Wolfgang
机构：
来源：
Wiss Z Tech Univ Karl Marx Stadt
|
1987年
/
29卷
/
04期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
11
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页码：527 / 534
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