未找到相关数据
Diagnostics of RF glow discharge plasma by a probe and its data process
被引：0
作者：
Yao, Ruohe
Chi, Lingfei
Lin, Xuanying
Shi, Wangzhou
Lin, Kuixun
机构：
来源：
Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica
|
2000年
/
49卷
/
05期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
页码：922 / 925
相关论文