Effect of bias voltage on structure and mechanical properties of TiN coatings prepared by magnetron sputtering

被引：0

作者：

Jiangxi Key Laboratory of Surface Engineering, Jiangxi Science and Technology Normal University, Nanchang, China ^{[1
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机构：

来源：

Rengong Jingti Xuebao | / 312-315期

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Bias voltage

引用