Modeling the hydrodynamic impact on the tool influence function during hemispherical subaperture optical polishing

被引：0

作者：

Ray, Nathan J. ^{[1
]}

Suratwala, Tayyab ^{[1
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Menapace, Joseph ^{[1
]}

Wong, Lana ^{[1
]}

Steele, William ^{[1
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Tham, Gary ^{[1
]}

Bauman, Brian ^{[1
]}

机构：

[1] Lawrence Livermore National Laboratory, Livermore,CA,94550, United States

来源：

Applied Optics | 2022年 / 61卷 / 18期

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Pressure distribution

引用

页码：5392 / 5400