Impact of high-k HfO2 dielectric on the low-frequency noise behaviors in amorphous ingazno thin film transistors

被引:0
作者
Semiconductor Laboratory, Samsung Advanced Institute of Technology, Yongin, Gyeonggi 446-712, Korea, Republic of [1 ]
不详 [2 ]
不详 [3 ]
不详 [4 ]
机构
来源
Jpn. J. Appl. Phys. | / 10卷 / 1002051-1002053期
关键词
Compendex;
D O I
暂无
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学科分类号
摘要
Thin films
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