The study on the fabrication of nanostructure and nanomold by nano-oxidation and hydrofluoric acid eetchlng on TiAlN thin film

被引：0

作者：

机构：

[1] Huang, Jen-Ching

[2] Liu, Huail-Siang

[3] Xue, Cheng-Shuo

[4] Zhang, Gui-Jia

[5] Zhan, Xin-Ming

来源：

Huang, J.-C. | 1600年 / Chinese Mechanical Engineering Society卷 / 34期

关键词：

12;

D O I：

暂无

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摘要：

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