Characteristics of disorder and defect in hydrogenated amorphous silicon nitride thin films containing silicon nanograins

被引：0

作者：

Ding, Wen-Ge ^{[1
]}

Yu, Wei ^{[1
]}

Zhang, Jiang-Yong ^{[1
]}

Han, Li ^{[1
]}

Fu, Guang-Sheng ^{[1
]}

机构：

[1] College of Physics Science and Technology, Hebei University, Baoding 071002, China

来源：

Chinese Journal of Aeronautics | 2006年 / 19卷 / SUPPL.期

关键词：

Defects;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用