Development of zno based charged particle monitor for processing fa

被引：0

作者：

Yanagida, Takayuki ^{[1
]}

Kawaguchi, Noriaki ^{[1
]}

Fujimoto, Yutaka ^{[1
]}

Yokota, Yuui ^{[1
]}

Tokutake, Taichi ^{[2
]}

Miyamoto, Miyuki ^{[2
]}

Sekiwa, Hideyuki ^{[2
]}

Kobayashi, Jun ^{[2
]}

Chani, Valery ^{[1
]}

Yoshikawa, Akira ^{[1
,3
]}

机构：

[1] IMRAM, Tohoku University, Sendai, 980-8577, Japan

[2] Mitsubishi Gas Chemical Co. Ltd., Katsushika, Tokyo 125-0051, Japan

[3] New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan

来源：

关键词：

Compendex;

D O I：

01BG06

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Zinc oxide

引用