The preparation of piezoelectric ZnO films by rf magnetron sputtering for layered surface acoustic wave device applications

被引：0

作者：

Liu, Day-Shan ^{[1
]}

Wu, Cheng-Yang ^{[1
]}

Sheu, Chia-Sheng ^{[1
]}

Tsai, Fu-Chun ^{[1
]}

Li, Cheng-Hsien ^{[1
]}

机构：

[1] Institute of Electro-Optical and Materials Science, National Formosa University, Huwei, 63201, Taiwan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers | 2006年 / 45卷 / 4 B期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Journal article (JA)

引用

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