Dislocation structure in AlN films induced by in situ transmission electron microscope nanoindentation

被引：0

作者：

机构：

[1] Tokumoto, Yuki

[2] 1,Kutsukake, Kentaro

[3] Ohno, Yutaka

[4] Yonenaga, Ichiro

来源：

Tokumoto, Y. (y.tokumoto@imr.tohoku.ac.jp) | 1600年 / American Institute of Physics Inc.卷 / 112期

关键词：

27;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Journal article (JA)

引用