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Design of piezoresistive MEMS pressure sensor chip for special environments
被引：0
作者：
机构：
[1] Jiang, Bo
[2] Qi, Xing-Lin
[3] Liu, Jiakai
[4] Jia, Bo
来源：
|
1600年
/
International Frequency Sensor Association卷
/
174期
关键词：
Pressure sensors;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
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