Hot embossing for nano-grating

被引：0

作者：

National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China, Hefei 230029, China ^{[1
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机构：

来源：

Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology | 2008年 / 04期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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