Nonlinear dynamics of lateral micro-resonator including viscous air damping

被引：0

作者：

Gao, Rong ^{[1
]}

Wang, Xiaojing ^{[1
]}

Wang, Min ^{[2
]}

Yu, Maohua ^{[1
]}

Xie, Mingchun ^{[1
]}

机构：

[1] School of Mechanical Electronic Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China

[2] No.802 Institute, Shanghai Academy of Spaceflight Technology, Shanghai 200090, China

来源：

Chinese Journal of Mechanical Engineering (English Edition) | 2007年 / 20卷 / 03期

关键词：

Microelectromechanical devices;

D O I：

10.3901/CJME.2007.03.075

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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