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Gas-film stiffness measurement based on characteristics spectrum signal inhibition
被引：0
作者：
Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China
[1
]
机构：
来源：
Guangdianzi Jiguang
|
2008年
/
7卷
/
938-941期
关键词：
7;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
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